滑竿式单温区PECVD系统 PECVD炉 TL1200-H-PE-II

产品价格: < 面议
产品型号:TL1200-H-PE-II
 牌:其它品牌
公司名称:天津天有利科技有限公司
  地:天津武清
浏览次数:
更多
立即询价 在线咨询

产品简介

滑竿式单温区PECVD系统在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能,该炉底部安装了一对滑轨,可手动滑动。滑竿式单温区PECVD系统​采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的**。加热和冷却速率*大可达100°C/min。为取得*快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得*快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S,是低成本快速热处理的理想炉。

产品详细信息

滑竿式单温区PECVD系统在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能,该安装一对滑轨,可手动滑动。滑竿式单温区PECVD系统采用双层壳体结构该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的**。加热和冷却速率*大可达100°C/min。为取得*快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得*快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S,是低成本快速热处理的理想炉

滑竿式单温区PECVD系统技术参数: 

1.温控方式:智能化30段可编程控制            2.*高温度:1200℃                 3.电压:220V 

4.额定温度:1150℃                           5.热电偶:K                      6.加热段长:400mm

7.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝                                

8.升温速率:≤20℃/min   推荐升温速率:≤10℃/min       

9.真空法兰和接头:详细参数请转看彩页第31页  

10.质量流量计:详细参数请转看彩页第31页   

11.射频电源:详细参数请转看彩页第31页   

型号

TL1200-H-PE-I

TL1200-H-PE-II

TL1200-H-PE-III

炉管尺寸

Φ60X1800

Φ80X1800

Φ100X1800

功率(KW)

2.5

3.5

3.5

在线询价

您好,欢迎询价!我们将会尽快与您联系,谢谢!
  • *产品名称:
  • 采购数量:
  • 询价有效期:
  • *详细说明:
  •   100
  • *联系人:
  • *联系电话:
  • 附件: 附件支持RAR,JPG,PNG格式,大小在2M范围
验证码: 点击换一张
 
   温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。

   免责申明:以上内容为注册会员自行发布,若信息的真实性、合法性存在争议,平台将会监督协助处理,欢迎举报