inficonPEG100真空计 inficonPEG100真空计

益处

• 测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
• 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
• **的电极几何形状提供**的点火属性
• 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
• 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
• *小化真空计附近的磁场强度
• 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
• 对数模拟输出信号
• 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发溅射系统

• 高真空范围内的一般真空测量和控制

• 
  

• 规格

• 类型		PEG100
  测量范围	mbar                                              Torr	1 x 10-9 to 1 x 10-2
  精度
  10-8 至 10-4 毫巴	% of reading	±30
  压力，*大（**）	bar	10
  温度
  运行（环境）	°C	+10 to +50
  贮存	°C	-20 to +75
  无电子设备，烘烤	°C	350
  带电子元件，在法兰处烘烤	°C	70
  供应
  电压	V (dc)	14.5 to 36
  消耗，*大	W	<2
  输出信号模拟
  输出信号	V	0 to 10.6
  测量范围	V	0.66 to 10
  电压与压强之间的关系	volts per decade	1.333
  连接器		FCC 68, female, 8 pin (shielded)
  电缆长度，*大（模拟）	m (ft.)	100 (330)
  暴露于真空的材料		Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
  内部容积	cm³ (in.³)	21 (1.28)
  重量，接近	g	500
  保护类型		IP40
  DeviceNet™
  设备类型		generic
  显示对等网络传讯		no
  I / O 对等传讯		no
  配置一致性值		no
  默认节点恢复		no
  波特率	kBaud	125 / 250 / 500
  主板 / 扫描器		no
  I / O 从属传讯： 位触发		yes
  I / O 从属传讯： 轮询		yes
  I / O 从属传讯： 周期		yes
  I / O 从属传讯： 状态改变 (COS)		yes
  DeviceNet™ 电源	V (dc)	11 to 25
  DeviceNet™ 连接器		Phoenix Combicon, 5 pin
  Profibus DP
  支持的波特率（自动检测）	kBaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
  扩展的用户参数数据	byte	5
  配置： 输入输出数据数量		2
  同步模式和冻结模式		Yes
  Profibus 的连接器		D-sub, 9 pin

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