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NITTO DENKO 日东电工 HR3000III全自动研磨撕膜机揭膜机 HR3000III

NITTO DENKO 日东电工 HR3000III全自动研磨撕膜机揭膜机 HR3000III
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产品价格： < 面议
产品型号：HR3000III
品 牌：日东电工NITTO DENKO
公司名称：上海瞻驰光电科技有限公司
所 在 地：上海松江
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产品简介

该设备可将保护胶带粘贴在晶圆图案表面上，用于背面研磨处理

　　具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣

　　低拉力粘贴/粘贴应力控制

　　可通过触摸面板和配方功能实现简易操作

　　日志文件功能标准设备

　　具有胶带下垂检测功能

　　符合　CE　标志和　SEMI　S2/S8规范要求

　　可添设晶圆映射扫描仪

　　符合　SECS/GEM　标准

　　可用晶圆尺

产品详细信息




HR3000III


具有前开式晶圆盒


开放式晶圆匣


具有剥离触发器，因此具有稳定的剥离效果


通过对剥离棒的准确控制可实现较低应力的剥离


可通过触摸面板和配方功能实现简易操作


日志文件功能标准设备


符合　CE　标志/SEMI　S2/S8规范要求


可添设晶圆映射扫描仪


符合　SECS/GEM　标准


可用晶圆尺寸：300　mm／200　mm


可用晶圆厚度：100　um　或更厚


吞吐量：60晶圆/小时




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上海瞻驰光电科技有限公司