熱処理装置製造・販売　株式会社ダン・タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重庆 FOSB·FOUP干燥烘箱

熱処理装置製造・販売　株式会社ダン・��クマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重庆 FOSB·FOUP干燥烘箱

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产品型号：FOSB·FOUP干燥烘箱

品牌：株式会社ダン・タクマ

公司名称：重庆内藤机械设备有限公司

所在地：重庆北碚

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产品简介

熱処理装置製造・販売　株式会社ダン・タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重庆
熱処理装置製造・販売　株式会社ダン・タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重庆
TEL:18375760285
QQ:2853007784
白先生

产品详细信息

300mm晶圆容器设备的使用FOSB和FOUP等特别的细微化，近年来随着微粒污染不仅分子污染排除的要求也变大了。
丹・タクマ它们的要求，为了响应，传统的清洁烤炉，本公司的分子污染防治技术，加上微粒污染物化学污染不仅物也排除了超清洁空间可以在干燥的下一代的保洁烤炉开发了。

本产品是以前的0.1μ10级对应的高清洁度温风循环式清洁烤炉，丹・タクマ化学过滤器”PURATEX”载有外部的化学的污染物的进入，并且能够防止内部部件的排气极力减低，使其干燥的时候被　干燥物中去分子污染尽量降低了清洁烤炉。特别是晶圆厌恶硼和磷，有机物等对策被。

仕様
型	FD-160-8
収納数	FOUP または FOSB 8個
清浄度	0.1μ　クラス10
*高温度	80°C
温度分布	±3％温度プログラム制御付湿度表示（オプション）
ケミカルフィルター	3種類（酸性ガス除去用＋アルカリ性ガス除去用＋有機性ガス除去用）
ULPAフィルター	低有機＋低ボロンタイプ