GF-III**真空度测试仪

GF-III**真空度测试仪

技术参数

▲测量范围： 1*10-5～1*10-1pa

▲测量误差： l*l0-4～1*l0-1pa中误差<5%

▲测量分辨率： 10-5pa

▲允许环温： O℃～55℃

▲空气湿度： <85%RH

▲电 源： AC220士10%

▲外型尺寸： 430X300X235mm

GF-III**真空度测试仪

★完善的输入保护电路

当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接加至信号输入端的采样电路上，使其承受十分强的电冲击。ZKY-2000的信号输入端的采样电路增加了完备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压冲击而发生暂时工作不正常时（重新开机即可），也不会造成电路部分的损坏。

采用基于电离电荷的采样技术。我厂专家在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此，我厂**了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

★漏电电流的处理

对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。