1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统

名称

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统

主要参数

·*高工作温度 1200°C ( < 1 hour )

·正常工作温度: 1100°C

.电源:208-240VAC,  50/60Hz, 

.加热区长度: 440mm

.恒温区长度: 120mm

特点

1.双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温

壳体结构

·  高纯 Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性.

·  内炉膛表面涂有进口的1760度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命/

·  炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.

·  密封法兰系统全不锈钢制作。

石英管结构

 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm
 内管:OD80 x ID 75 x 1800 mm

真空法兰

·  一对 SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。

·  炉子底部装有一对滑轨

·  炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。

·  为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。

·  为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置

加热区

·  总加热区长度： 900 mm (36")

·  三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

·  恒温区长度: 500 mm（ 如果三个温区在同一个温度) 

控温系统

4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制.

· MFC 1范围:  0~100 sccm

· MFC 2范围:  0~200 sccm

· MFC 3范围:  0~200 sccm

· MFC 4范围:  0~500 sccm

· 气路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 进气和出气接口: 1/4" 卡套

· 一个混气罐.

· 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制

注意事项

·  炉管内气压不可高于0.02MPa

·  由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****

·  当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

·  进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·  石英管的长时间使用温度＜1100℃

·  对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等

保修期

一年保修，终身技术支持

免责声明

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