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Felles 无掩膜光刻机

Felles 无掩膜光刻机
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��品价格： < 面议
产品型号：
品 牌：Felles
公司名称：孚光精仪(中国)有限公司
所 在 地：天津南开区
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产品简介

Felles 无掩膜光刻机具有无掩模技术的便利，大大提高影印和新产品研发的效率，节省时间，是全球**的无掩模光刻系统。Felles 无掩膜光刻机直接用375nm或405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。

产品详细信息

Felles 无掩膜光刻机具有无掩模技术的便利，大大提高影印和新产品研发的效率，节省时间，是全球**的无掩模光刻系统。Felles 无掩膜光刻机直接用375nm或405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。

Web: www.felles.cn                    （激光光学精密仪器官网）
         www.felles.cc                     （综合性**测试仪器官网）
         www.f-lab.cn                       （综合性实验室仪器官网）


Felles 无掩膜光刻机特色
尺寸：925x925x1600mm
内置计算机控制接口
激光光源：375nm或405nm
视频辅助定位系统
自动聚焦设置

Felles 无掩膜光刻机参数
线性写取速度：>500mm/s
重复精度： 100nm
晶圆写取面积：1—6英寸
衬底厚度：250微米-10毫米
激光点大小：1-100微米
准直精度：500nm

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孚光精仪(中国)有限公司