高精度定位台Q-MAX

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产品型号：

品牌：Felles

公司名称：孚光精仪(中国)有限公司

所在地：天津南开区

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产品简介

高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。

产品详细信息

高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。

高精度定位台Q-max特点
精密定位台具有25mm, 50mm 和100mm行程范围
集成高精度线性编码器，分辨率高达12.5nm
Quad-Vee Lock needle传导系统提供恒定支持
滚珠丝杠或滚柱丝杠传导，滞带*小
重复精度高达亚纳米，特别适合Z轴或垂直应用

高精度定位台Q-max应用
高精度定位台Q-max非常适合精准轨迹控制的应用，比如半导体光学测量，平板显示测量，微电子测量设备，也作为OEM定位器件集成到这些大系统中，在全球范围内作为OEM器件存在40万套的销量。国际上，客户用高精度定位台Q-max在微电子晶圆制造中对液体精密加注，在激光和光学领域，科学家使用它精密控制光路等。
Q-Max Specifications

	QMX-25	QMX-50	QMX-100
Travel Length (mm)	25	50	100
Trajectory Control
Accuracy
Standard SP	± 2.0 µm	± 3.0 µm	± 4.0 µm
High Precision HP	± 0.5 µm	± 1.0 µm	± 1.5 µm
Straightness/Flatness
Standard SP	± 1.0 µm	± 2.0 µm	± 3.0 µm
High Precision HP	±0.5µm	±0.5µm	±0.5µm
Yaw/Pitch/Roll
Standard SP	4 arc-sec	5 arc-sec	7.5 arc-sec
High Precision HP	2 arc-sec	2 arc-sec	3 arc-sec
Extra High Precision XHP	1.2 arc-sec	1.5 arc-sec	2 arc-sec
Resolution
Linear Encoder	Standard Optional	50nm consult factory
Rotary Encoder	@1mm lead @50TPI	100nm 50.8nm
2 axis system
Orthogonality
Standard SP	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec
High Precision HP	3 arc-sec	3 arc-sec	3 arc-sec
Extra High Precision XHP	2 arc-sec	2 arc-sec	2 arc-sec