小型等离子清洗机 PCE-6

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产品型号:PCE-6
 牌:其它品牌
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品详细信息

功能特点
  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间;
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上;
  • 设有一个三通阀,可**控制进气流量,以及大气流清洗腔体,进气接口为6mm卡套接口;
  • 选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验;
  • 设备可实现清洗及蚀刻功能如下:
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  技术参数
电源 单相AC220V±10%,频率:50Hz/60Hz,总功率约600W(含真空泵)
输出功率 7.2W、10.2W、29.6W
射频频率 3.0MHz,功率3档可手动调节
等离子腔体 高纯石英腔体,Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Ø45mm的观察窗
真空泵 标配直连式双旋真空泵,流量120L/min,功率约500W
极限真空度 50mtorr
通入气体 可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)
外形尺寸 约L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量 约10.2kg(不含真空泵)

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