MKS电源-等离子体电源
产品简介
ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气，氮气，氢气，水汽等气体，广泛应用于CVD，ETCH，去胶等晶圆工艺。
产品详细信息
产品有以下型号：
R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。
微波等离子体源：
- AX2600 集成等离子体系统
- Smart Power-AX2500系列微波电源
- ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
- ASTeX-AX7619 下游等离子体源
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