HVPS/SC 高压电源 HVPS/SC
产品简介
INFICON 作为 QCM 技术的全球**者,现在提供电子枪控制设备,包括扫频控制器、坩埚指数仪、源控制器和HVPS/SC高压电源。
产品详细信息
HVPS/SC 是固态高压电源,具有在电子束 (e-beam) 真空沉积系统中使用的集成源控制器。 其**性的设计使其成为市场上*小、*有效并且功能丰富的高压电源之一。
性能强大
HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可调输出电压以及 10 至 999 毫安的可调发射电流。 这使其兼容各种电子枪。 零电压开关 (ZVS) 技术和接近 1 的功率因数可帮助 HVPS/SC 实现超过 90% 的效率,具有小于 1% 的发射电流纹波,从而获得精密可靠的电子束。
经久耐用
HVPS/SC 非常坚固可靠。 设计为连续工作和/或连续电弧,在 15 毫秒内就可实现完全电弧恢复。存储能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳,从而有助于快速消除电弧并将对速率控制的影响降到*低。 每个 HVPS/SC 均经过**测试和强化测试,以确保正常运行和耐用性。
设计小巧,易于集成
HVPS/SC 将电源和源控制器通过“直接到灯丝”的设计相结合,无需外部灯丝变压器。 这一设计使得占用的机架空间比多数竞争对手的电源和源控制器少一半有余,可以轻松集成到工具中。 通过标准 USB、RS-232 和 RS-485 连接即可连接到 PC 或 PLC。
性能强大
HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可调输出电压以及 10 至 999 毫安的可调发射电流。 这使其兼容各种电子枪。 零电压开关 (ZVS) 技术和接近 1 的功率因数可帮助 HVPS/SC 实现超过 90% 的效率,具有小于 1% 的发射电流纹波,从而获得精密可靠的电子束。
经久耐用
HVPS/SC 非常坚固可靠。 设计为连续工作和/或连续电弧,在 15 毫秒内就可实现完全电弧恢复。存储能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳,从而有助于快速消除电弧并将对速率控制的影响降到*低。 每个 HVPS/SC 均经过**测试和强化测试,以确保正常运行和耐用性。
设计小巧,易于集成
HVPS/SC 将电源和源控制器通过“直接到灯丝”的设计相结合,无需外部灯丝变压器。 这一设计使得占用的机架空间比多数竞争对手的电源和源控制器少一半有余,可以轻松集成到工具中。 通过标准 USB、RS-232 和 RS-485 连接即可连接到 PC 或 PLC。