MKS GM50A质量流量控制器 GM50A

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产品型号：GM50A

品牌：MKS

公司名称：万德泉真空-真空技术全套解决方案

所在地：广东深圳

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产品简介

MKS GM50A金属密封数字质量流量控制器，满量程范围从5 sccm – 50 slm，精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度（GM51A除外）。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟（0-5V或4-20mA）和数字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通讯接口可选。

产品详细信息

GM50A是一种金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，GM50A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

技术参数：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。

控制量程：2% to 100%的全量程。

测量精度：全量程的1%

灵敏度：全量程的0.1%

热机时间：小于2Min.

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

数字：RS485或Device net或Profibus

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材质：316不锈钢。

例：型号GM50A013502R6M010(代表的是气体介质是氮气，流量*大是500sccm，配件法兰接口是Swagelok 4VCR male，通讯接口是DeviceNet，密封材料是金属密封）

GM50A质量流量控制器采购系列号GM50A

用于标准的气体(SEMI Gas编号）

氮气，N2	013
氨气，NH3	029
六氟化硫，SF6	110

流量范围，SCCM满量程（相当于氮气）

5	500
10	101
20	201
50	501
100	102
200	202
500	502
1000	103
2000	203
5000	503
10000	104
20000	204
30000	304
50000	504