雷尼绍RGH20F UHV真空兼容圆光栅 RGH20F UHV TONiC™ UHV RGH25F UHV

雷尼绍的**式和增量式圆光栅是为需要长期可靠性和高动态性能的旋转应用而设计的，其体积轻薄，内径大，可以方便地套在大直径的转轴上，并满足其有效载荷或伺服驱动要求。可根据客户要求提供定制尺寸或更大直径的圆光栅。

不锈钢圆光栅具有高精度刻度，其独有的锥面安装方式纠正了回转轴/轴的偏心或直径公差，客户可选择光学参考零位或用螺栓紧固的磁励体。这些圆光栅可以与各种读数头兼容，适合需要很好地抵御机械振动和热冲击等不利影响的应用场合。

• RESR与RGH20、RGH34、RGH35和RGH40读数头兼容。提供40 µm和20 µm两种栅距，直径范围从Ø52 mm至Ø550 mm
• RESM与SiGNUM™和TONiC™读数头兼容，栅距为20 µm， 直径范围从Ø52 mm至Ø550 mm
• RESA是与RESOLUTE™读数头兼容的**式圆光栅， 栅距为30 µm，直径范围从Ø52 mm至Ø550 mm
• REXM和REXA分别是RESM和RESA圆光栅的超高精度版本，其性能更高，在配用双读数头时可达±1角秒的总体安装精度

全新ATOM™微型光栅还提供一系列RCDM玻璃码盘，直径范围从Ø17 mm至Ø108 mm，提供40 µm或20 µm两种栅距类型。

由于体积简洁小巧，所有圆光栅的转动惯量都非常低，确保无论安装在何处，系统定位都能达到*小扭矩和*高速度。

为了进一步提高性能和长期可靠性，由符合RoHS标准的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有动态信号调节功能和0.05角秒的分辨率。

RGH20F UHV读数头由精选的低除气速率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。

RESR圆光栅由没有涂层的单片式300系列不锈钢制成，这意味着它可按照需要进行专业清洗和去脂。该圆光栅具有一个大通孔和小截面，因此简化了设计，同时还*大程度降低了质量和转动惯量。此外，它采用雷尼绍具有**的锥面安装方式，可提供一种实现精细调整的简单方法，而且在很宽的温范围内具有高水平的稳定性。用于UHV应用的RESR圆光栅提供直径范围从52到550 mm的尺寸，还可根据要求提供定制尺寸或更大直径。

通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。

RGH20F读数头的RGA光谱结果

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RESR圆光栅的RGA光谱结果