小野测器静电容量式非接触厚度计 CL-5610 CL-5610

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产品型号:CL-5610
 牌:小野测器
公司名称:北京精纬创元科技有限公司
  地:北京大兴
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产品简介

豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・*大値・*小値・*大幅値(*大−*小)の演算値も表示出来ます。
 
導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能
CL-0300 絶縁体測定機能(オプション)により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。
 
導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体(コモン)間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能(オプション)により、その面積を小さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。
 
高分解能演算機能オプシ

产品详细信息

測定サンプル例

導体・半導体

絶縁体

シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。

ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。
(全体が均一な性質の単一材料で構成される薄い物が測定対象となります。)

※上記の測定サンプルの他、中間的な材質、複合した材質の測定については、お問い合わせ下さい。

測定方法

導体・半導体を測定する場合

絶縁体を測定する場合(オプション)


 
2つのセンサ と被測定物をセンサ測定範囲内で平行に設置し、このセンサ間隔(Gs)を CL-5610 シリーズに設定します。センサ A 、B 間に被測定物を挿入して、各々のセンサ ~ 被測定物のギャップ(Ga、Gb)を測定して、厚さ(t)をもとめます。


センサと導体(基準床)を平行に設置し、 センサのギャップ測定値(この時の電圧出力 Gs)を CL-5610 シリーズに設定します。センサと導体(基準床)の間に被測定物を挿入すると、センサの電圧出力は Ga となり、このセンサ電圧変化分と比誘電率 εr から厚さ(t)をもとめます。

※計測可能な絶縁体の厚みは、センサと基準床間のGAP値の約1/3以下を目安としてください。


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