英国爱德华BGV 气动闸阀 NW50 BGV 气动闸阀 NW50 B90003105 英国爱德华BGV 气动闸阀 NW50 BGV 气动闸阀 NW50 B90003105
产品简介
BGV 不锈钢插板阀 BGV 地下室插板阀经过针对性设计,采用简单、**的楔形密封系统,消除了传统插板阀所使用的复杂机械装置。其优势包括在真空内不需要油、油脂和移动部件,因此降低了机械装置被制程中的粉尘污染的风险。 英国爱德华BGV 气动闸阀 NW50 BGV 气动闸阀 NW50 B90003105 英国爱德华BGV 气动闸阀 NW50 BGV 气动闸阀 NW50 B90003105
产品详细信息
概述
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有*高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar(**)(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的**压力,并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
![RoHS66](https://shop.edwardsvacuum.com/images/rohs_66.png)
功能和优势
- 与世界密封技术先驱 VAT 合作开发。
- 不锈钢结构,采用获得**的可靠设计,使用寿命长
- 简单的无油脂机构*大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
- 可以在 1 bar 差压下运行,因此无需进行压力平衡
- 维修方便,只需要廉价的易耗品,低运行成本
- 表面光滑,易于清洁
- 提供时已安装螺线管和电线,便于订购和安装
- 即插即用,在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。
技术数据
泄漏值 |
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壳体 | < 1 x 10-9 mbar ls-1 |
阀座 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 |
压力范围 | 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara |
插板上的压差 | 1.2 bar(在任一方向上) |
打开时的压差 | 1 bar |
**检修前的循环数 | 5, 000 |
*高工作温度 |
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阀体 | 120 °C |
手动执行器 | 80 °C |
气动执行器 | 80 °C |
位置指示器 | 60 °C |
螺线管阀 | 50 °C |
分子流电导 |
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NW50 | 300 ls-1 |
ISO63 | 400 ls-1 |
ISO80 | 1100 ls-1 |
ISO100 | 1700 ls-1 |
ISO160 | 4600 ls-1 |
重量 |
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NW50 | 3.3 kg (7.3 lbs) |
ISO63 | 6.6 kg (14.6 lbs) |
ISO80 | 7.0 kg (15.4 lbs) |
ISO100 | 8.5 kg (18.7 lbs) |
ISO160 | 17.7 kg (39.0 lbs) |
构造材料: |
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壳体 | AISI 304 不锈钢 |
阀盖 | 黑色阳极化铝 |
插板 | AISI 304 不锈钢 |
助滑器 | PEEK |
波纹管 | AISI 633 不锈钢 |
密封件 | 氟橡胶 |
插板固定螺钉 | A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜 |
手柄 | 强化聚酰胺 |
气动阀 |
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螺线管阀额定值 |
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标准螺线管阀 | 24V - 15%/+ 10%,直流/交流,2.4 W |
位置指示器触点额定值 | 12 - 30 V 直流/交流,*大 500 mA,*大 10 W |
气动供气 |
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*小供应压力 | 58 psig(4 bar 压力表压力,5 bar **压力,5 x 105 Pa) |
*大供应压力 | 100 psig(7 bar 压力表压力,8 bar **压力,8 x 105 Pa) |
气动接头 |
R1/8 英寸(阀的 1/8 英寸 NPT 在美国订购) |