电阻：0.01～2000Ω (可扩展)；电导率：0.005～1000 s/cm；电阻：0.001～200Ω.cm；专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。,RTS-4数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；方块