小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200X-50S-PE-SL

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特点

• 与普通CVD相比可以在低温环境下进**相沉积实验
• 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
• 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
• 通过工艺调节来控制化学计量
• 可以沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

开启式管式炉

• 输入电源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW
• *高工作温度1200°C，小于60分钟
• 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）
• 连续工作温度1100°C
• 炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L
• 可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能
• 加热区长度：200mm 单温区.
• 恒温区2.3" (60mm)  (+/-1°C) @ 1000°C 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
• 以下图片显示加热区的温度曲线图
  (点击图片查看详细资料）

等离子体射频电源

• 输出功率:          5 -300W 可调 稳定性± 1%
• 射频电源频率:          13.56 MHz 稳定性±0.005%
• *大反向功率:      200W
• 匹配:  自动
• 射频电源电子输出端口:        50 Ω, N型半导体, 阴极
• 噪音:                      <50 dB.
• 冷却:                风冷
• 电源 :                208-240VAC, 50/60Hz

真空法兰和接头

• 真空法兰采用 304不锈钢制作.
• 左端法兰上安装有 KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀

真空泵及水冷机

• AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
• 2 Liter /S
• 出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
• 真空度:  10-2 torr
• 可选水冷机
   

产品尺寸和重量

• 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
• 净重: 160kg

质保期

一年质保期，终身维护，（相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件）

CE Certified

• 工作时需连接水冷设备
• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）