微型PECVD系统-

等离子源

• 等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
• 输出频率： 13.56 MHz
• 三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）
• 腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L
• 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）

滑动法兰

• 有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
• 样品可以放入加**圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

加热圈和温控系统

• 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃
• 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失
• 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC
• 输入电源： AC 220V
  

  Coil heater	Quartz protective tube	Temp. Controller	Heating coil	Alumina boat

两通道混气系统

• 混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
• 三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,
• 混气箱上安装有304不锈钢针阀
• 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
• 混气箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
• 净重: 14 lbs.

真空和气体接口

标准的真空配置有

• 一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀）
• 一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
• 一个数字式真空显示计
• 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。
• 可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处
• （注意：不可通入易燃易爆性气体）

真空泵

• 仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,
• 进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架

设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面

仪器尺寸

• 等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
• 温控盒： 4"H x 10"W x 8"D
• 移动架：600 x 600 x 600mm

重量

70 lb (包含真空泵)

质保期

一年质保期（不包含石英管和密封圈）