混气系统3路浮子

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产品型号：

品牌：上海升利

公司名称：上海升利测试仪器有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

混气系统3路浮子用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，结合我公司的管式炉，可作用CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

技术参数

名称	混气系统3路浮子
浮子流量计	三种不同量程的浮子流量计，控制精度4% ·A：10 - 100mL/min ·B：16 - 160mL/min ·C：25 - 250mL/min
机械压力表（混气罐）	·-0.1-0.15 Mpa
接头和气管	·在混气系统右侧安装三个气体进口 ·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管 ·两个出口（可连接管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体） ·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
真空针阀	·采用ss304不锈钢 ·安装在混气系统的右侧
安装带刹车的转向轮	外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
可选	CVD或者PECVD 液相气体发生器
净重	约75 Kg
质保期	一年保修，终身技术支持。特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。