三温区1500℃ PECVD系统-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

三温区开启式1500℃管式炉

• *高工作温度1500℃
• 连续使用温度1400℃
• 三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序
• 每个温区长度为200mm
• 总温区长度为600mm
• 炉管为高纯刚玉管
• 炉管尺寸：（标配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
• 炉管尺寸：（选配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
• 输入电源： 208 – 240V AC，单相
• *大功率：6.6KW
• 配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口
• 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）
  

射频电源

• 输出功率:          5 -500W ± 1% .
• 射频频率:          13.56 MHz ±0.005% .
• 反射功率: *大 200W
• 匹配: 自动
• 射频接口:       50 Ω, N-type
• 噪音:                    <50 dB.
• 冷却: 风冷.
• 电源:                AC   208-240V, 50/60Hz

防腐型真空计

• 输入电源 24V，1A  DC（配有一电压转换器）
• 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.
• 数据显示   数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
• 接头 1/8"NPT 接头
• 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系统

• 采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
• KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
• 管内真空可达10E-2 Torr
•  

质量流量计混气系统

• 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
• MFC 1范围:  0~100 sccm
• MFC 2和3:    0~200 sccm
• MFC 4范围:   0~500 sccm
• 一个混气罐，底部装有泄废液口.
• 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
• 进气口: 4个1/4NPS.
• 出气口: 4个 1/4NPS.
• 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
  

温控系统

• 三个温区分别由三个温控系统控制
• 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
• 带有超温和断偶保护
• 控温精度：+/- 1 ºC
• 控温仪表操作视频
• 可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑
  

外型尺寸

• 炉体：550 x 380 x 520  mm
• 炉体下端移动柜：1800×600×600mm
• 净重：220 Lbs.
• 运输重量：1200lbs

质保期

一年质保期，终身维护，相关耗材除外如炉管，密封圈等易耗件

• CE认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证