小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE

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公司名称：上海升利测试仪器有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE

产品详细信息

OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。

特征

与普通CVD相比可以在低温环境下进**相沉积实验
对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
通过工艺调节来控制化学计量
能够广泛地用于各种材料沉积，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等.

技术参数

开启式管式炉	输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW *高工作温度1200℃（小于1小时）连续使用温度1100℃ 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x 780mmL 可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护加热区长度为200mm,恒温区长度为60mm(+/-1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
等离子体射频电源	输出功率: 5 -500W可调稳定性为+/-1% 射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005% *大反向功率: 200W max 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型��岛体, 阴极噪声<50 dB. 冷却方式：空气冷却输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法兰和接头	真空法兰采用304不锈钢制作左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能（请点击图片查看详细介绍）
真空泵	AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2L/s 与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr 进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
产品尺寸和重量	外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 净重: 160 lbs
可选配置	请点击查看下面的混气及气液混合系统防腐型小型三路浮子混气系统精密气液混合系统三路质子混气系统
开门断电	为保证使用**，该电炉为开门断电设计
质保期	一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）
	CE Certified
使用注意事项：	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加**** 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）