原子力显微镜 (AFM)

原子力显微镜(AFM)或扫描探针(SPM)技术，是测量表面形貌或表面微小作用力准确有效的技术。位于悬臂梁末端的探针与试样表面接触，并对试样表面进行数字化扫描。通过这种技术，我们可以得 到试样表面的超高分辨率三维形貌。这项技术特别适用于残留划痕、压痕以及其他纳米尺度表面特征形貌的高分辨率成像。

特点

• 光学显微镜与原子力显微镜的结合使表面量化分析成为可能
• 光学显微镜可将表面细节放大到具有亚纳米尺寸分辨率的图像
• 微米与纳米结构的分析
• 临界尺寸(CD)的测量
• 对腐蚀结构与粗糙度的测量分析
• 薄膜表面轮廓分析
• 弱光学对比度表面测量
• 生物材料及其他材料表面研究领域的应用

选件

• 非接触扫描模式
• 摩擦力扫描模式
• 磁性力扫描模式
• 脉冲力扫描模式
• 静电力扫描模式
• 热扫描模式
• 电导显微镜
• 液体介质测量模块