双极电容式传感器 ZNXsensor超精密电容位移传感器
产品简介
该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞
产品详细信息
该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞
应用领域 |
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压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 |
主要特点 |
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量程20~1250μm; |
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分辨率<0.1nm;零磁滞; |
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线性*高0.02%; |
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频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调; |
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真空兼容选项; |