微型双光束平面镜干涉仪 微型双光束平面镜干涉仪

产品详细信息 设计和操作

微型双平面镜干涉仪sp-d系列的设计旨在可以同用户系统相组合，用于同时进行纳米级精度的双长度测量。该双长度测量值之差及其双光束间距可用于精密确定相应的角度，角度测量范围同两光束间距无关，约为2’。如果长度变化很小，将输出光束聚焦在被测物体上可令角度测量范围增大到±30’。

激光光源通过光缆与传感干涉测头进行耦合。微型干涉仪将移动镜的运动转换为一对光学干涉信号，后传到信号处理/电源供给单元进行处理。为实现更长测量而进行模块化设计的稳频he-ne激光器，对激光波长的环境漂移进行修正，构成其高计量精度的基础。在pc上运行用户软件包来控制各电路单元和显示测量结果。

主要工作特点

·  同时具有长度和角度测量的超高精度
·  光源为高度稳频的he-ne 激光
·  传感测头采用光纤耦合
·  双光束的间距可依据用户的特殊需要进行调整

·  对环境影响的激光波长进行补偿

应用

·  可测量平面工作台、显微镜工作台、定位工作台、坐标测量机或机床
·  可用于修正双轴和多轴坐标测量机的角度误差
·   可测量相对于参考点的线位移
·   研究物体形变
·  非接触的表面形貌测量

·  材料特性测量，如：膨胀系数