爱德华IH1000真空泵维修 BOC EDWARDS IH1000

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产品型号:BOC EDWARDS IH1000
 牌:爱德华真空泵维修
公司名称:苏州曼特莱精密电子有限公司
  地:江苏苏州
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产品简介

Edwards iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵,使用**的悬臂式转子、爪式和罗茨设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全封闭的水冷却电机。
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产品详细信息

爱德华IH1000真空泵维修:

爱德华IH1000真空泵应用范围:

负载锁、输送、计量、平板印刷、PVD制程、PVD预清洁、RTA、剥离/灰化、蚀刻、植入源、HDP CVD、RTP、SACVD、MCVD、PECVD、LPCVD、ALD
苏州曼特莱精密电子有限公司成立以来一直致力于爱德华IH1000真空泵维修以及其他进口真空泵的维修、维护、保养、上门调试服务以及免费真空技术咨询。 

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