梅塞尔高纯气体减压阀 E61

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产品型号：E61

品牌：MESSER

公司名称：得雷流体控制工程有限公司

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产品简介

E61梅塞尔高纯气体减压阀适用于高纯气体的减压，气体等级8.0。*大入口压力200bar，*大出口压力10bar，Cv流量系数0.15，接口为1/4"VCR公头或母头。E61高纯减压阀有平膜片型，介质不接触弹簧型和**压力型可选

产品详细信息

感应形式…………膜片式
减压级数…………单级
入口压力…………max. 200bar
出口压力…………1.5/4/10bar
调压方式…………手柄调节
接口尺寸…………1/4"VCR公头或母头
表面抛光度………R_a≤0.25μm，可选R_a≤0.18μm（电子抛光）
流量系数…………Cv=0.15
重量………………1.4kg
材质
阀体………………316L不锈钢
膜片………………哈氏合金
其他过流部件……316L不锈钢
阀座………………PCTFE

E61梅塞尔高纯气体减压阀选型说明
E61-M：介质不接触弹簧型。*低限度地减小产生颗粒的可能性。
E61-PS：平膜片型。膜片采用平膜片，特别适合于腐蚀性气体。阀杆采用更耐腐蚀的哈氏合金，延长使用寿命。
E61-V：**压力型。适合低压力应用。

E61-M	200	10	P	VCRM	VCRF	M	M
型号	进气压力P₁	出气压力P₂	表面等级	进气接头	出气接头	进气指示	出气指示
E61-0 E61-M E61-PS E61-V	40-max.40bar 200-max.200bar	1.5-max.1.5 bar 4-max.4 bar 10-max.10 bar	P-Ra≤0.25μm HP-Ra≤0.18μm	VCRM-1/4” VCR公头 VCRF-1/4”VCR母头 VCRA-1/4”VCR公头(固定)		B-无（堵头） M-压力表 K-电接点压力表 D-压力传感器 0-VCR接口

E61尺寸图

E61梅塞尔高纯气体减压阀产品特征
为小流量优化设计，内表面电子级抛光处理
*小化内部容积以缩短吹扫时间
所有过流部件都采用316L不锈钢、哈氏合金、PCTFE、PVDF材质
高精度控制
金属对金属密封
通过手柄实现出口压力限位
100%氦气检漏测试
100/10级无尘室内组装
可要求提供SEMASPEC认证文件