电子束直写装置
产品简介
1.*小线宽:小于10nm 2.加速电压:1-50kV 3.电子束直径:小于2nm 4.套刻精度:50nm 5.加工晶圆尺寸:5-8英寸(标准),12英寸(可选)
产品详细信息
日本CRESTEC公司针对科研领域推出了一系列的电子束直写装置,CABL9000系列是其*新推出的**产品,技术指标完全处于****水平。
目前,CRESTEC公司的用户已经遍及日本国内的各大实验室及高等院校。同时,CRESTEC公司积极开拓中国和美国市场,并已取得不俗的成绩。
1.*小线宽:小于10nm 2.加速电压:1-50kV 3.电子束直径:小于2nm 4.套刻精度:50nm 5.加工晶圆尺寸:5-8英寸(标准),12英寸(可选)