硅分析系统 Nicolet
产品简介
赛末飞世尔 Nicolet型硅分析系统性能**，拥有成本低，可靠性高，可以快速测量间隙碳和间隙氧以及外延薄膜厚度，适用于半导体晶片生产和太阳硅应用。 经光伏硅转换太阳能的需求持续显著增长，Nicolet 硅分析系统可提供快速、可靠的多功能分析。
产品详细信息
赛末飞世尔 Nicolet型硅分析系统性能**，拥有成本低，可靠性高，可以快速测量间隙碳和间隙氧以及外延薄膜厚度，适用于半导体晶片生产和太阳硅应用。 经光伏硅转换太阳能的需求持续显著增长，Nicolet 硅分析系统可提供快速、可靠的多功能分析。
仪器主要特点：
1、Nicolet 硅分析系统的处理选项包括：
1）自动分析 300 mm（*大）的晶片；
2）低成本手动测量单个点。 本系统可提供行业趋势变化所需的灵活性，可用于方形晶片和金属片的分析。
2、具有硅分析选项，可以满足各种预算需求。 所有解决方案均包括软件工具，其中包括：
2、具有硅分析选项，可以满足各种预算需求。 所有解决方案均包括软件工具，其中包括：
●碳、氧和外延薄膜（300nm 至 7500nm）分析
●定量算法广泛，扩展了功能，其中包括：线性回归法、经典*小二乘法 (CLS) 和偏*小二乘法 (PLS)
●支持 ASTM 和 JEIDA 标准，可以测量替代碳和间隙氧
3、此**自动分析系统以 Nicolet x700 光谱仪为基础，可满足要求苛刻的操作环境。 此应用软件具有完全自动化的扫描成像平台，所含软件可以实现：
●灵活的测量选择：从单点绘制到整个晶片绘制
●处理 300mm （*大）的晶片
●透射与反射能力测量：可以接受的材料和薄膜非常广泛
4、简便的用户操作
此手动分析系统基于 Nicolet x700 或 Nicolet iS10 FT-IR 光谱仪，适用于要求不太苛刻的 QA/QC 应用。 此系统在样品室中使用手动旋转平台，包括：
●单点分析手动定位样品
●在样品室中处理晶片
●具有透射测量能力，可以接受众多材料和薄膜
5、Recommended for:
5、Recommended for:
●测量硅中碳和氧的含量，以便对光伏器件进行过程控制
●介电薄膜中掺杂物的浓度级别（BPSG、PSG、FSG 等）
●氮化硅薄膜中的氢含量
●外延薄膜厚度
●MEMS 器件厚度
●硅片中的代位碳和间隙氧含量
关于我们|
易展动态|
易展荣誉|
易展服务|
易家文化|
英才集结号|
社会责任|
联系我们
备案号：粤ICP备11010883号|
公安机关备案号：44040202000312|
版权问题及信息删除： 0756-2183610
QQ：
Copyright?2004-2017 珠海市金信桥网络科技有限公司 版权所有
