球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700
产品简介
日立HD-2700型球差校正扫描透射电子显微镜配备了与德国CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合**纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。
产品详细信息
日立HD-2700型球差校正扫描透射电子显微镜配备了与德国CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合**纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。
仪器主要特点:
1、高分辨率扫描透射电子显微镜成像
●HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜头)
●HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头)
●明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm(w/o球差校正仪)
2、高速,高灵敏度能谱分析:探针电流×10倍
●元素面分布更迅速及时
●低浓度元素检测
3、操作简化
●自动图像对**能
4、从样品制备到观察分析实现无缝连接
●样品杆与日立聚焦离子束系统兼容
5、配有各种选购件可执行各种评估和分析操作
●同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布和DF/EELS面分布图像
●低剂量功能(使样品的损伤和污染程度降至*低
●高精度放大校准和测量
●实时衍射单元(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
●采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转),具有自动倾斜图像获取功能
●ELV-3000即时元素面分布系统(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)
仪器技术参数:
项目
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描述
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图像分辨率
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w/o球差校正仪
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保证 0.204nm(当放大倍数为4,000,000时)
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w球差校正仪
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保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
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保证 0.136nm(HAADF图像)
保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头) |
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放大倍数
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100倍 至 10,000,000倍
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加速电压
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200 kV, 120 kV
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成像信号
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明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像) 二次电子图像(SE图像) 电子衍射 特征X射线分析和面分布(能谱分析) 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000) |
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电子光学系统
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电子源
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肖特基发射电子源
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冷场致发射器
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照明透镜系统
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2-段聚光镜镜头
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球差校正仪(*)
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六极镜头设计
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扫描线圈
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2-段式电磁感应线圈
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原子序数衬度收集角控制
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投影镜设计
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电磁图像位移
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±1 μm
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试片镜台
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样品移动
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X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
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样品倾斜
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单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头)
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真空系统
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3个离子泵,1个TMP
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极限真空
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10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
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图像显示
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个人电脑/操作系统
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PC/AT兼容, Windows® XP
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监视器
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19-inch液晶显示器面板
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图像帧尺寸
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640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
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扫描速度
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快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
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自动数据显示
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记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间
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