球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

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产品型号:HD-2700
 牌:日立
公司名称:上海仁特检测仪器有限公司
  地:上海浦东
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产品简介

日立HD-2700型球差校正扫描透射电子显微镜配备了与德国CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合**纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。

产品详细信息

日立HD-2700型球差校正扫描透射电子显微镜配备了与德国CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合**纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。
仪器主要特点:
1、高分辨率扫描透射电子显微镜成像
●HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜头)
●HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头)
●明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm(w/o球差校正仪)
2、高速,高灵敏度能谱分析:探针电流×10倍
●元素面分布更迅速及时
●低浓度元素检测
3、操作简化
●自动图像对**能
4、从样品制备到观察分析实现无缝连接
●样品杆与日立聚焦离子束系统兼容
5、配有各种选购件可执行各种评估和分析操作
●同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布和DF/EELS面分布图像
●低剂量功能(使样品的损伤和污染程度降至*低
●高精度放大校准和测量
●实时衍射单元(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
●采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转),具有自动倾斜图像获取功能
●ELV-3000即时元素面分布系统(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)
仪器技术参数:
项目
描述
图像分辨率
w/o球差校正仪
保证 0.204nm(当放大倍数为4,000,000时)
w球差校正仪
保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
保证 0.136nm(HAADF图像)
保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头)
放大倍数
100倍 至 10,000,000倍
加速电压
200 kV, 120 kV
成像信号
明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)
二次电子图像(SE图像)
电子衍射
特征X射线分析和面分布(能谱分析)
电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)
电子光学系统
电子源
肖特基发射电子源
冷场致发射器
照明透镜系统
2-段聚光镜镜头
球差校正仪(*)
六极镜头设计
扫描线圈
2-段式电磁感应线圈
原子序数衬度收集角控制
投影镜设计
电磁图像位移
±1 μm
试片镜台
样品移动
X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
样品倾斜
单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头)
真空系统
 
3个离子泵,1个TMP
极限真空
10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
图像显示
个人电脑/操作系统
PC/AT兼容, Windows® XP
监视器
19-inch液晶显示器面板
图像帧尺寸
640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
扫描速度
快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
自动数据显示
记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间
 

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