原子力显微镜 XE-150

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产品型号：XE-150

品牌：Park Systems

公司名称：上海仁特检测仪器有限公司

所在地：上海浦东

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产品简介

Park Systems XE-150型大样品原子力显微镜的推出对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。

产品详细信息

Park Systems XE-150型大样品原子力显微镜的推出对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描，极大的提高了检测效率。

仪器技术参数(机械部分)：

1. XY扫描器：100µm×100µm（闭环），可选配200µm×200 µm

2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)

3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过2nm

4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°

5. 样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)

6. 样品尺寸：200mm×200mm

7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

仪器技术参数(电子部分)

1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP

2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率

3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素