V10FC-L差压式低量程MFC/MFM V10FC-L

V10FC-L差压式低量程MFC/MFM产品特点

普通低压型，适于1Mpa或3Mpa以下非腐蚀性清洁气体

无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年

准确度1%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定

瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出

无需预热，测量时无响应滞后

内置30种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度

自动累计，分段累计功能

V10FC-L采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出；暧昧流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。

与热式流量计不同，当使用气体转换系数时，V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。

通过选配显示器和键盘可以使V10FC具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定、报警点设定、阀门状态、自动校准等。

产品应用

真空    镀膜     太阳能     半导体     石油石化    煤炭冶金     制气配气    环保     各种分析仪器

技术参数

技术指标 V10FC-LC质量流量控制器 V10FC-LM质量流量计
量程范围  5SCCM～5SLM 
测控范围 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度 ±1.0%F.S
      压力：0.5%F.S          温度：±1℃
线    性 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
响应时间 100ms 10ms
数 字 量 RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量 0～5V、4～20mA、1～5V
供   电 ±15VDC,24VDC
工作温度 0～50℃
工作压力 工作压差：0.05MPa～0.5MPa 工作压差：<30KPa
*大耐压 1MPa、3MPa
电气连接 DB15孔
漏    率 1×10-9SCCSHe
温度系数 ±0.015%F.S/℃
底座材质 316L
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接    头 Φ3,Φ6,1/8",1/4"