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等离子灰化机 PR500

等离子灰化机 PR500
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产品价格： < 面议
产品型号：PR500
品 牌：Yamato/雅马拓
公司名称：深圳市木村机电有限公司
所 在 地：广东深圳
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产品简介

等离子灰化机：大口径石英工作仓配备，小型一体化设计，操作简单的触摸屏控制面板

产品详细信息

等离子灰化机性能特点：
等离子灰化机:大口径石英工作仓配备,小型一体化设计,操作简单的触摸屏控制面板  

等离子灰化机性能用途：
硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
零部件清洗
界面活性处理
微量研磨
基板的表面处理

等离子灰化机性能规格：
型号 PR300 PR301 PR500/PR510
同调方式 手动2轴同调方式 自动调谐
反应槽 3室超硬质玻璃φ64×160mm×3 1室超硬质玻φ118×160mm 石英制φ215×305mm
加热器 不锈钢线圈加热器 手动/触摸屏联动控制
配管材质 SUS不锈钢、特佛伦、铜、铜合金 SUS不锈钢、特佛伦
方式 DP方式
频率 13.56MHz
反应气体 1系统 2系统
外形尺寸
(W*D*Hmm)		 438×520×556mm 438×520×656mm 438×520×760mm
输出功率 Max.300W Max.500W
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深圳市木村机电有限公司