二探针单晶硅测试仪 二探针多晶硅测试仪 晶硅测试仪 JC502-GL-1

本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，以便硅材料的切割和加工。
   为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在美国、德国等先进的工业国家，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。
仪器符合美国ASTM 《“F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准，是一种新型的半导体电阻率测试仪，适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法**测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率，从而进一步判断半导体材料的性能，指导和监视工艺操作，也可以用来测量金属材料的电阻，仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。
    仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分，仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示，零位稳定、输入阻抗高，并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时，具有系数修正功能，从面板输入相应的修正系数，可以直接读出电阻率，使用方便。测试台结构新颖，造型美观，可以方便地固定好大小任意尺寸的样品，并可以作逐点选择步进测量，也可以自由选择固定位置测量，电极活动自如，具备锁定装置，方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅，测试探头能自动升降，探针为碳化钨材料，配置宝石轴承，具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整，以适合不同的材料。
仪器主要技术指标：
1.可测硅材料尺寸：
     直径Φ25~Φ150mm满足ASTM F-397的技术要求。
     长度：100~1100mm.
2.测量方式：轴向测量，每隔10mm测量一点。
3.测量电阻率范围：10-3~103Ω-cm,可扩展到105Ω-cm。
4.数字电压表：
    （1）量    程：0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
    （2）测量误差：±0.3%读数±2字
    （3）输入阻抗：0.2mV和2mV档>106Ω
                  20mV档及以上>108Ω
    （4）显    示：31/2位LED数字显示，范围0~1999。
5.恒流源：
    （1）电流输出：直流电流0~100mA连续可调。
    （2）量    程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
    （3）电流误差：±0.3%读数±2字
6.二探针测试装置：
    （1）探针间距：4.77mm
    （2）探针机械游移率：0.3%
    （3）探针压力：0~2kg可调
    （4）测试探头自动升降
7.二探针测试台
    （1）测试硅单长度：100-1100mm
    （2）测试点间距：10mm
    （3）测试台有慢、快二种移动速度，快速移动速度为1000mm/分（均匀
手动）
8.电源：交流220V±10%，50HZ±2HZ，消耗功率<150W

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