产品简介
瑞士INFICON PEG100潘宁真空计,这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空压力。 还有现场总线可供选择。
产品详细信息
INFICON PEG100潘宁真空计提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现单丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。
PEG100潘宁真空计益处:
- 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
- **的电极几何形状提供**的点火属性
- 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
- 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
- *小化真空计附近的磁场强度
- 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
PEG100潘宁真空计典型应用:
- 高真空压力监控
- 蒸发溅射系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
PEG100潘宁真空计选型指南:
PEG100 |
零件号 |
说明 |
351-000 |
真空计 |
351-002 |
PEG100-P 规管 |
351-003 |
PEG100D 型真空计 |
351-004 |
PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
351-005 |
PEG100-P 规管 |
备件
PEG100 |
零件号 |
说明 |
351-490 |
阴极片 |