PEV-1压电阀 PEV-1

美国keyhigh PEV-1压电阀（PEV-1　PIEZOELECTRIC　GAS　LEAK　VALVE）是为了适用真空系统的高精度气体流量控制阀门，主要应用领域包括：磁控溅射镀膜，光学镀膜，ITO镀膜，等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高。

PEV-1 压电阀主要技术特点：   

1、控制模式：开环控制和闭环控制   
2、易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪   
3、响应时间快   
4、性能稳定，压电陶瓷片寿命长   
6、无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点

PEV-1压电阀技术参数：
　　
阀门类型：压电晶体
可控制的气体：兼容各种材料
流量范围：0？500　SCCM
漏率：<1x10？9　scc/sec（1ATM　HE　ON　INLET）
响应时间：2微秒
*大进气压力：50　PSI
驱动要求：电压：0？100　VDC，电流：<10μA
操作温度范围：＋10°C　to＋60°C
材料：316不绣刚，氟橡胶，特富龙，陶瓷片
进气和出气连接：1/4"Swagelok　Fittings
电气连接：标准BNC
重量：800克