D07-15 气体质量流量控制器 D07-15

产品型号

D07-15

产品类型

普通型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm

产品精度

±1％F.S.

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

P20 Card Edge

工作压差范围

(0.1～0.3) MPa

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套Φ6,双卡套Φ3,VCR1/4”,双卡套1/4”

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

- 无 -

重量

0.85Kg