柱形磁控溅射阴极 ONYX

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产品型号:ONYX
 牌:angstromsciences
公司名称:万德泉真空-真空技术全套解决方案
  地:广东深圳
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产品简介

 Angstrom Sciences柱形磁控溅射阴极的设计,以满足严格的薄膜均匀,靶材利用率,和溅射速率规格。除了由**的异型磁铁和水冷技术所提供的先进的性能测试结果,Angstrom Sciences磁控溅射阴极还提供许多其他优异性能。

产品详细信息

Angstrom Sciences可以为任何标准的溅射工艺提供世界上*先进的阴极。但我们知道,每一种应用都是不同的。这就是为什么我们开发了一种独特的,模块化的方法来适应您的规格。
    圆柱磁控阴极在镀膜玻璃行业得到广泛的的信任,提供了**均匀性的同时实现靶材利用率*大化。现在,Angstrom Sciences创造了结构紧凑,重量轻,经济的圆柱形磁控阴极,把这些相同的优势在平板显示器、太阳能电池、和Web涂层应用中实现。

1、定制设计
    提供完整的组件,直径从3英寸到6英寸。
2、经济和完全兼容的投资
    ONYX -Revolution?采用了通用的和具有性价比的设计以适应任何类型的靶材。而且它被设计成使用现成的组件,以实现廉价的、长期的投资和可靠性。
3、**技术
    Angstrom Sciences的**磁体技术创建一个源和工件之间的接近正常的沉积分布。改进的沉积分布使得腔体上的碎片沉积减少。
    此外,Angstrom Sciences的磁铁阵列能提供更高的磁场强度,它允许以较低的功耗来达到常规的沉积速率。
4、节省材料,节约能耗
    
通常圆柱磁控阴极可以在相同面积上容纳平面磁控阴极三倍的靶材。Angstrom Sciences ONYX-Revolution?可进一步提升85%的靶材利用率。另外,因为工作在较低的功率下,可以降低20%的功耗。
5、品质保证
    Angstrom Sciences致力于帮助我们的客户开发*有生产力的和具有成本效益的薄膜应用,提供世界上*先进的磁控阴极,高品质的沉积材料,**的技术支持。我们随时准备着以确保您的满意度。

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