金相显微镜 MX51
产品简介
奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜，其考虑了检查效率的设计、鲜明的图像和**的分辨软件方案，帮助实现多种观察方法的附件，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
产品详细信息
| MX51 详细介绍 |
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■ 紧凑的设计实现*小的占地空间
■ 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
■ 标配158X158mm手动移动载物台(*大可用于200mm晶圆检查)
■ 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
■ 采用防静电设计,极大方便磁头检查
■ 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
MX51主要技术规格
考虑了检查效率的设计
■ 高灵敏度载物台可以迅速决定位置
MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。
■ 快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
鲜明图像和**的分辨率为特点的光学系
■ 多种选择可实现**的成像性能
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的**性能。
观察影像实例：
   
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察
软件方案
■ 使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
帮助实现多种观察的附件
■ 近红外观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的象差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
 
近红外线观察单元 粘合衬垫
■ 荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
 
荧光镜观察 荧光观察
■ 透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
 透射照明单元
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