機種
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マスフローメータ
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マスフローコントローラ
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低価格品
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汎用品
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低価格品
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汎用品
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MF1121B
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MF1111B
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MF1171B(NC)
MF1181B(NO)
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MF1141B(NC)
MF1151B(NO)
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標準レンジ
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0~5 SCCM
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0~100 SCCM
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0~2 SLM
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0~10 〃
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0~200 〃
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0~3 〃
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0~20 〃
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0~300 〃
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0~5 〃
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0~30 〃
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0~500 〃
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0~10 〃
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0~50 〃
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0~1,000 〃
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0~20 〃
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0.1~5 SCCM
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2~100 SCCM
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0.04~2 SLM
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0.2~10 〃
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4~200 〃
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0.06~3 〃
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0.4~20 〃
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6~300 〃
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0.1~5 〃
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0.6~30 〃
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10~500 〃
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0.2~10 〃
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1.0~50 〃
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20~1,000 〃
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0.4~20 〃
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制御範囲
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-
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2~100%F.S
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精度定格
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±2%F.S.以下
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±1.5%F.S.以下
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±2%F.S.以下
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±1.5%F.S.以下
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直線性
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±1%F.S.以下
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±0.7%F.S.以下
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±1%F.S.以下
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±0.7%F.S.以下
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再現性
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±0.2%F.S.以下
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±0.2%F.S.以下
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±0.2%F.S.以下
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±0.2%F.S.以下
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応答時間
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出力電圧が設定値の±2%F.S.以内への収束時間約3秒以内
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*高動作圧力
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1.0MPa
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耐圧
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1.5MPa
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圧力損失
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5.0kPa
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動作差圧
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-
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5SCCM~5SLM
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: 34~275kPa
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10~20SLM
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: 69~275kPa
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流量設定
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-
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0~5V DC
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0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
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出力信号
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0~5V DC
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0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
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使用温度範囲
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5~45℃(ガス温度も同じ)
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取付姿勢誤差
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±0.5%F.S.以下(取り付け姿勢は自由)
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リーク規格
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1.013×10-9Pa・m3/s(He)以下(標準)
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配管接続
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1/4 スウェージロック(標準), VCR(オプション)
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接ガス部材質
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SUS316,フッ素ゴム
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SUS316,フッ素ゴム,フッ素樹脂
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質量
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約680g
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約800g
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消費電力
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1VA以下
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3VA以下
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