YUTAKA CROWN半导体压力调节器R系列 R系列

YUTAKA CROWN半导体制造工艺的精密压力调节器

R20 型系列

高压力流率标准

SUS316L，SUS + 哈氏 ® 60 NL/min14.8 MPa1.2 MPa

半导体制造工艺的精密压力调节器

R25 系列

低气压标准流率类型

SUS316L，SUS + 哈氏 ® 20 NL/ min6 MPa1.2 MPa

半导体制造工艺的精密压力调节器

R26 赛车系列

低气压标准流率类型

SUS316L，SUS + 哈氏 ® 20 NL/min2MPa0.99 MPa

半导体制造工艺的精密压力调节器

R35 系列 RoHS 指令兼容产品

在低气压放电类型

SUS316L，SUS + 哈氏 ® 100 NL/ min6 MPa0.99 MPa

半导体制造工艺的精密压力调节器