半导体气体检测仪 XD-303
产品简介
XD-303半导体气体检测仪采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性。 高检测灵敏度。 能检测很多种类的半导体特气。 检测对象气体 砷 烷 ( A S H 3 ) ,磷 烷 ( PH 3 ) ,乙硼烷 ( B 2 H 6 ) 其它 。检 测 范 围 :0 ~ 1ppm ,0 ~ 0.2ppm 0 ~ 1ppm ,0 ~ 0.3ppm 0 ~ 1ppm 因规格而异
产品详细信息
XD-303半导体气体检测仪特点:
采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性。
高检测灵敏度。
能检测很多种类的半导体特气。
液晶数字显示。
规格
型 号
XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303
检测对象气体 砷 烷 ( A S H 3 ) ,磷 烷 ( PH 3 ) ,乙硼烷 ( B 2 H 6 ) 其它
检 测 范 围 :0 ~ 1ppm ,0 ~ 0.2ppm 0 ~ 1ppm ,0 ~ 0.3ppm 0 ~ 1ppm 因规格而异
* 小 刻 度 :0.1ppm,0.01ppm 0.1ppm,0.01ppm 0.1ppm
采 样 方 式:自动吸引式
应 答 速 度 :60%应答40秒