大宗气体系统及气柜压力调节阀(64-2600) 64-2600 单级压力、超高纯度
产品简介
64-2600 ·5Ra或10Ra微英寸抛光 ·自由阀芯设计 ·电解抛光或内表面电解抛光 ·Cv=.06
产品详细信息
产品系列及特性 |
输入压力
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输出压力
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允许内泄漏*
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流量范围 | 阀体材料 | |
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64-2600 单级压力、超高纯度 | |||||
·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
3500PSIG
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30,60,100,
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<1×10-9
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0-100SLPM | 316L不锈钢 | |
·自由阀芯设计 |
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250,500PSIG
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或316L不锈 | ||
·电解抛光或内表面电解抛光 |
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钢VAR | ||
·Cv=.06 |