大宗气体系统及气柜压力调节阀(64-3200 ) 64-3200 单级压力、超高纯度,高流量,BSGS
产品简介
64-3200 ·固定隔板设计 ·10Ra微英寸抛光 ·可供Hastelloy镍合金部件 ·Cv=1.2
产品详细信息
产品系列及特性 出入压力 输出压力 允许内泄露 流量范围 阀体材料 64-3200 单级压力、超高纯度,高流量,BSGS |
|||||
·固定隔板设计 |
1500,1000
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-900SLPM | 316L不锈钢 |
·10Ra微英寸抛光 |
PSIG
|
150,200PSIG
|
|
||
·可供Hastelloy镍合金部件 |
|
|
|
||
·Cv=1.2 |