大宗气体系统及气柜压力调节阀(64-3600) 64-3600 单级压力、超高纯度、低衰减
产品简介
64-3600 单级压力、超高纯度、低衰减 ·高度灵敏 ·10Ra微英寸抛光 ·自由阀芯或固定隔板设计 ·可供Hastelloy镍合金部件 ·Cv=.06或.15
产品详细信息
产品系列及特性 输入压力 输出压力 允许内泄露 流量范围 阀体材料 64-3600 单级压力、超高纯度、低衰减 |
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·高度灵敏 |
3500PSIG
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30,60,100,
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<1×10-9
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0-100SLPM | 316L不锈钢 |
·10Ra微英寸抛光 |
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150PSIG
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·自由阀芯或固定隔板设计 |
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·可供Hastelloy镍合金部件 |
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·Cv=.06或.15 |