大宗气体系统及气柜压力调节阀(64-5000) 64-5000 单级压力、超高纯度、**压力
产品简介
64-5000 ·负压至正压 ·5Ra或10Ra微英寸抛光 ·Cv=.06(*大入口压力3500PSIG) ·Cv=.15(*大入口压力600PSIG) ·Cv=.24(*大入口压力120PSIG
产品详细信息
产品系列及特性 输入压力 输出压力 允许内泄露 流量系数 阀体材料 64-5000 单级压力、超高纯度、**压力 |
|||||||
·负压至正压
|
3500,600,
|
28"Hg-15,30,
|
<1×10-9
|
0-5SLPM | |||
|
·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
120PSIG
|
60,100PSIG
|
|
316L不锈钢 或316L不锈 |
||
·Cv=.06(*大入口压力3500PSIG) |
|
|
钢VAR | ||||
·Cv=.15(*大入口压力600PSIG) |
|
|
|
||||
·Cv=.24(*大入口压力120PSIG |