装置压力调节阀(15系列) 15系列高纯度,超高流量
产品简介
15系列高纯度,超高流量 ·无内螺纹 ·低于气室负载
产品详细信息
产品系列特性 输入压力 输出压力 |
允许内泄露
|
流量系数
|
||||
15系列高纯度,超高流量 |
|
|
|
|
||
·无内螺纹 |
300PSIG
|
130PSIG
|
<1×10-9
|
11300SLPM
|
316L不锈钢
|
|
15系列 | ·10Ra微英寸抛光 |
|
(400SCFM)
|
|||
·弹簧负载:Cv=8 |
|
28,300SLPM
|
||||
·低于气室负载:Cv=20 |
(1000SCFM)
|
|||||
*单位为大气压·毫升/秒氦气 |