技术规格

本体

刚性 200/300mm 共用

电动对焦上下 25mm/25nm

明场，暗场六孔转换物镜

电源

12V100W 照明，电动控制 110 ～ 240V

载物台

专用除振台

重量

90Kg

DUV

光学系统

使用波长

248nm （ ± 5nm ）

光源

80W 水银灯

物镜

100 × /N.A

中间倍率

2.5 × /3.5 ×

CCD

13 幅 / 秒

视野

32 × 32um （中间倍率 2.5 ×时）

观察方式

DUV 明场

PC 操作系统

Windows NT

可视

光学系统

镜筒

正置三目， 1 × /2.5 ×中间变倍

落射观察法

BF/DF/DIC/FL 电动切换

AF 本体

5 ×～ 150 ×

物镜

明场 UIS 无限远