NPS2100A形状扫描机(纳米级测定) NPS2 100A为测针**直径只有几十纳米的表面粗糙度测量机,通过对工件表面进行扫描,可将表面的凹凸以纳米水平的分辨率进行三维显示。 测量部标准配备有自我检测型悬臂测针和了振装置,体积小可以在桌上使用,操作简单。 评价纳米物体的细微形状 可自如地对从次纳米到10微米的细微形状进行分析。 采用独自的自我检测型悬臂测针 悬臂测针本身备有检测挠曲量的传感器,安装、操作简便。由于没有使用用激光光学系,因此无需调节光轴,可以携带到各种场所进行测量 标准配备有防振装置 配备有螺旋弹簧和胶态吸振器融为一体的防振装置,在任何场所均可测量。 高速测量 可以进行每个画面为12秒~1800秒的高效率测量。此外,测量过程中可以对扫描形状进行监测。 NPS2100A的用途 半导体 对设备图案进行形状评价,对成膜粒子进行粗糙度评价 记录媒体 磁盘表面评价、化学晶体结构、格点的形状评价、磁带、磁头的表面评价 液晶显示器 液晶屏幕表面的评价、触摸屏间隔测量、ITO膜粒子的评价 水晶设备 水晶振动器、电极的表面粗糙度评价、SAW滤波器表面的膜厚、段差测量 陶瓷、玻璃 表面·截面的形状评价、镀层面的膜厚·段差测量、镜头·光纤的形状评价 电子设备 表面形状的评价、粗糙度·段差测量、镀层表面的评价、次品分析 高分子材料 聚乙烯膜表面处理评价、涂层加工纸表面评价、涂膜·涂层的膜厚·段差测量 机械加工 研削·研磨工艺的评价、磨耗面评价 规格 型号 | NPS2100A | 测量范围 | X轴·Y轴 | *大800*800um | Z轴 | *大±10um | 分辨率 | Z轴 | 0.3mm | 工件载台 | 移动量 | X、Y、Z各10mm | | 工件形状 | *大Ø60mm、厚度8.5mm | 扫描速度 | 12秒~1800秒/画面 | 测量模式 | 接触模式、振动模式 | 评价功能 | 三维显示、等高线显示、等高线涂色显示、 等高线深浅显示、截面显示、山分布显示、 俯视图(隐线处理/半调涂色处理/指定视点方向)、 负荷曲线显示、振幅分布曲线显示、山高分布显示 | 标准配件 | 自我检测型悬臂测针(接触模式用:10根/箱、 振动模式用:10根/箱)悬臂测针镊子组件、 标准样品、光学显微镜组件、操作说明书 |
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