**质谱仪

 
1.HPR 20 QIC连续进样的气体或蒸汽研究级系统
2.HPR-40溶解性气体分析仪
3.HPR 50化学气相沉积CVD/金刚石沉积过程分析仪
4.HPR 60分子束取样/中子、离子和原子测量系统
5.HPR-70批量进样气体分析仪 / HPR-90密闭气体分析仪 / QIC-100质量数为1000amu的气体/蒸汽分析仪 

应用领域：

TPD 
反应动力学
催化研究
热分析质谱 
气体纯度分析
环境气体分析 
燃烧研究 
CVD / MOCVD 
发酵脱气分析 
等静热压等 

标准特征：

定量数据输出：ppm，ppb，%
120－500毫秒内（取决于取样毛细管的长度）对于气体浓度的变化做出反映。
快速扫描速度：100amu/s
加热的进样管对可冷凝的气体（蒸汽）同样反应迅速。
Windows操作软件对自动进行数据收集、显示、分析，控制四极杆的参数。
提供两组外部参数显示信号。*多可选配16种。
可在线检测。
可分辨未知气体。
使用RGA系列四极杆可同时检测数十种气体。使用3F系列四极杆可同时检测无限种气体。
可提供与TGA、GPC、IR等连接的接口。与TGA连接可进行TPD试验。
扩展余地宽。
防污染。
有防腐蚀性气体专用真空泵供选配。

技术规格：

质量数范围1-50，1-200，1-300，1-500，1-1000 amu
四极杆种类RGA，3次过滤四极杆
气体取样管2米，内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套。加热温度至200℃。
气体流量1-20sccm，可调节。
进样压力压力恒定状态：100mbar－2bar。
压力不断变化：100mbar－2bar，需选配FCI自动流动控制阀。
2-30bar，定做自动流动控制阀。
装配方式车载，试验台上
检测极限0.1-1 ppm RGA HAL系列四极杆
5ppb 3F系列四极杆
*小扫描步阶0.01amu
多路进样阀多至8路。加热与否均可。