PrismaTM---真空残余气体质谱 PrismaTM

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产品型号：PrismaTM

品牌：

公司名称：瑞士安维公司北京公司

所在地：北京

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产品简介

技术参数： 
1.质量数范围amu 1-100,1-200,1-300
2.检测器法拉第/通道倍增器
3.检测极限mbar -11/-14
4.Ar的灵敏度A/mbar >5*10-4/200
5.*大工作压强mbar1*10-4/1*10-5

显著特点：

紧凑－易于和真空系统集成

高灵敏度和高检测极限

视察软件，功能齐全

64种常用气体谱图

专门的残余气体分析模块，分压检测

双灯丝

双路模拟输入和四路模拟输出信号

双路数字输出信号，可外控启动

快速放大，高动态范围，自动切换量程

峰位稳定，自动校准电子学零漂

耐烘烤温度*高到300℃，90度转角空间节省型可选

广泛适用于研发，高能物理，环境，清洁度检测。
应用领域：
真空残余气体分析超高真空残余气体分析溅射过程气体分析蒸发材料气体分析
等离子体过程气体分析在线气体分析微量夹杂气体分析呼吸气体分析
充气气体成分分析同位素分析光学镜片清洁度检测电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测

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